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第三百九十二章 一台7000万美刀,山海微电的第二波报复!

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认出来,这是一组曝光台。

它又叫测量台,是承载硅晶圆的工作台,用来支撑和定位硅晶片,在光刻过程中,曝光台将硅片位置定位到投影光学系统下方,以便接受光刻胶的投影。

大屏幕上的画面随之转动,利用数字动画技术,展示一台更全面立体的烛龙 10800 EUV光刻机。

“由于场地限制,我们只拉来了一组曝光台,但它的结构同样复杂精密,由多个部件组成,譬如:

真空吸盘,在曝光之前,通过负压吸附硅片并使之牢固地固定在曝光台上,防止硅片在曝光过程中移动或摆动。

气氛控制系统,用来控制曝光台工作区的环境,确保光刻胶在最佳条件下进行曝光,包括过滤器和温度控制器等。

测量系统,用于检测硅片的位置和旋转,以及曝光后的质量和厚度等参数。通常由传感器和计算机接口组成,以提供实时反馈并调整曝光台的位置和参数……”

何婷波既是管理人员,又是专业的技术人员出身,谈到烛龙光刻机,自然是高谈阔论,满是自信之色。

一台光刻机的内部组件除了曝光台外,还有激光器、光束矫正器、能量控制器、掩膜台和物镜等十几种大型零配件,如果让她一一解读,这场发布会估计要开个两天两夜。

因此,何婷波在介绍完曝光台的结构后,凝思片刻道:

“烛龙 10800 EUV光刻机采用13.5纳米波长的EUV光源,相比传统的深紫外光刻技术,具备更高的光学分辨率和更低的纹影效应,这也是它能支持7纳米和5纳米芯片生产的基础。

首先,EUV光源的功率达到了55瓦,可提供强大稳定的光源,保证良好的曝光效果和超高的生产能力。

其次,具备每小时160片晶圆的生产能力,能满足高强度、大规模的芯片生产需求。

再次,精确的光学成像系统,能够准确地将芯片设计图案投射到硅晶圆上,拥有高分辨率和低畸变的优异特点,极大降低了生产不良率。

最后,先进的智能控制系统,能够实时监测和调整光刻过程中的关键参数,确保稳定的生产效率,才能获得品质一致的芯片产品。”

何婷波说到这里时,直接切换投屏画面,放出了烛龙 10800 EUV光刻机的定价系统。

国内版2亿华币,国际版7000万美刀!

一些人很快反应过来,这是在对标阿麦斯TWINSCAN NXT


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