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第一四七五章 90nm光刻机

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  「邓院长,我代表京城半导体公司,奖励研发部500万元。」

啪啪……

8月15日,接到总经理魏建国的电话,京城光刻机研究院研发成功了90nm制程工艺光刻机,孙健非常高兴,第二天上午就乘飞机从江城来到京城,在京城光刻机研究院会议室接见了包括院长邓国辉院士、副院长欧阳明院士、副院长陈伟长院士、光刻机自动化研究所所长夏季常院士在内的200多名90nm制程工艺光刻机研发部的研发人员。

京城光刻机研究院在不到一年的时间内研发成功90nm光刻机,厚积薄发,孙健不会感到惊讶,经过近9年的快速发展,加上舍得投资,京城光刻机研究院下属10家研究所(部)人才济济,国内近八成的顶尖光刻机人才都在这里。

京城半导体公司拥有4名光刻机专业顶尖的院士,教授、研究员、教授级工程师近百人,这在国内科研院所和公司中都是绝无仅有的事情。

如今没有专业博士文凭,很难进入京城光刻机研究院。

1998年9月,GCA和Nikon先后研发成功90nm制程工艺的光刻机;2000年8月,Intel、IBM、IT、AMD、HP各自投资25亿美元(包括基建费用)建设的一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线先后量产。

2000年,ASML、Canon、SVG先后研制成功90nm制程工艺的光刻机。

1999年,PGCA半导体公司申请从GCA购买一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线,但遭到美国商务部否决,重新申请购买一条12英寸晶圆、180制程工艺的半导体生产线,3个月后才批准,2000年12月7日,这条生产线才量产。

得陇望蜀!

2000年12月底,孙健怂恿中村三郎代表曙光东芝晶圆公司,从东芝公司引进一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线,但遭到日本半导体协会拒绝;曙光东芝晶圆公司花费15亿美元(包括从BSEC采购40台250nm制程工艺的光刻机)从日本引进了一条12英寸晶圆、180nm制程工艺的半导体生产线,如今还处于设备安装阶段,9月下旬试生产。

国内有了二条12英寸晶圆、180nm制程工艺的半导体生产线,台积电、三星都只有一条。

京城半导体公司(BSEC)研制成功的90nm制程工艺的光刻机虽然比GCA和Nikon晚


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