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第八十六章 质疑剽窃

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着阿斯麦的人,找到了徐教授。

「徐教授,我想请问你们这个浸润式方案是从哪里来的?」

徐教授之前听李皓提起过这位,也听过他的一些研究方向。

所以对于他的质问,并没有太过意外:「这个自然是我们基于浸没式光刻技术,自行研发出来的成果,有什么问题吗?」

浸没式光刻起源于浸润式显微镜,是由一个意大利科学家在1855年发明的。

相对于光刻机是将图案缩小投影到光刻胶上,这个显微镜的功能则是将图案放大到ccd探测器上。

虽然是两个不同的领域,但根本的原理却是相通的,所以徐教授这么说也没问题。

可是架不住林奔坚不信啊,质疑道:「真的是这样吗?我记得之前,曾经有一位大陆人接触过我,希望我能加入到国内的实验室工作。

虽然当时他并没有说哪家实验室,但看现在情况,他应该和您是一起的吧。

您可能还不知道,我已经和阿斯麦公司达成了合作,也正在研究浸没式光刻机。」

听到这话,徐教授也是不由皱起了眉头:「所以你是怀疑,我

们偷取了你的研究成果?这简直就是个笑话。

就不说浸没式的概念,早在上个世纪就有人提出过,就算是有关光刻机的具体理论,也是在1980年,由列支敦士登公国的.tabarelli和E..Lobach提出。

并且还在美国申请了专利,这个和你好像也没什么关系吧,所以你指的偷取成果是从何而来。」

这话堵得正中核心,毕竟老美自己的专利认可,它们总不能来自打嘴巴。

徐教授这里聚集了一堆人,也让在后面关注的李皓注意到了。

于是便走了过来,询问发生了什么事情。

徐教授不客气的说道:「这位是台岛的林奔坚教授,刚刚质疑我们剽窃成果。」

「林教授,之前你虽然没有接受邀请,但谈的也算是愉快,不用这么有敌意吧。」

听到李皓就这么承认了这件事,林奔坚心里就更坐实了自己的想法。

不过他也是认识李皓的,毕竟之前他在美国工作了二十几年,怎么会不知道李皓这么个风云人物。

当着李皓的面,纵使他心里有不满,也得收敛起来。

「我只是合理怀疑而已,毕竟贵公司曾经和我接触过,而我之前就是在做关于这方面的研究。」


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